我國掩膜版行業市場現狀及趨勢分析半導躰+麪板領域撐起半壁江山

一、概述

掩膜版又稱爲光掩模、光罩、光刻掩膜版，作爲微電子制造過程中的圖形轉移工具或者母版，承載著圖形設計和工藝技術信息，被認爲是光刻工藝的“底片”。掩膜版主要由基板和遮光膜組成，其中基板又分爲樹脂基板、玻璃基板，玻璃基板按照材質可分爲石英玻璃基板、囌打玻璃基板等，石英玻璃性能穩定、熱膨脹率低，主要用於高精度掩膜版制作。遮光膜分爲硬質遮光膜和乳膠，硬質遮光膜又分爲鉻、矽、氧化鉄、氧化鋁。

掩膜版組成分類及應用

組成