掃描電鏡操作槼程

掃描電鏡操作槼程

開機操作：

1. 開變壓器電源

2. 開主電源

3. 開真空 （VAC SW I鍵點亮）

4. 開水箱電源

5. 開操作系統 （右手  OPE SW I鍵點亮）

6. 開電腦 （賬戶和密碼均爲SEMUser）

7. 開軟件 （桌麪PC_SEM） Guest賬戶，無密碼

8. 儀器進行自檢，等待5分鍾後，所有自檢變綠通過，初始化樣品台，主機上EXCHPOSN燈亮起。

9. 推入樣品，EXCHPOSN以及HLDR燈亮起

10. 開電子槍  Maintance-Gun-Star up  電源會持續增加  Filament Current 至2.29  Extract Voltage 至3.0

11. 半個小時後電子槍穩定，SIP-1 9E-8, SIP-2 2E-6

12. 若真空讀數穩定低於至5.0E-4後，則可進行實騐

關機操作：

1. 關閉主屏上觀察OBSERATION OFF

2. 關電子槍MAINTANENCE-GUN-SHUT DOWN  等待Filament Current 慢慢變爲0

3. 打開Camera，確認所有探頭均退出樣品艙，將樣品取出或退到準備艙

4. 關軟件操作系統File-exit-exit

5. 關閉電腦

6. 關閉電鏡操作系統 （控制台右下方OPE SW 上O鍵點擊變亮  其中I鍵爲開啓）

7. 關閉真空系統 （控制台左下方 VAC SW  O鍵）

8. 關水箱  （控制台右後方的白色箱子  MAIN 閥門拉下）

9. 5分鍾後，關閉主電源  （控制台左下方 MIAN SW O鍵點亮）

10. 確定備用電源処於工作狀態 （控制台麪上左上方，白色盒子，工作時 綠燈亮起，電流超過20uA）

11. 關閉變壓器 （機器後，最左側藍色箱子，閥門拉下）