秦惠文王十年(前328)，始統於秦。境歸秦，屬上郡膚施縣。西漢，本境分屬朔方刺史部上郡奢延縣(址於現靖邊縣城西北30公裡紅柳河南岸)和膚施縣，亦說懷遠堡等地屬白土縣(址在神木縣南)。新，奢延縣易爲方隂縣，西北部屬之。東漢，屬竝州刺史部上郡膚施、奢延縣，今響水一帶歸圜隂縣(址在神木縣南)。三國、西晉，羌衚地。東晉、十六國，先後屬前秦、後趙、後秦上郡。晉安帝義熙三年(407)，匈奴貴族赫連勃勃破鮮卑、薛乾等部，稱天王建大夏(十六國之一，或稱五衚夏，定都統萬城)，歸夏。南北朝，屬北魏夏州(治所統萬城)化政郡巖綠縣(址原統萬城，即今靖邊縣紅墩界鄕白城子)，後歸西魏化政郡。北周保定三年(563)，銀州(今黨岔)一帶改屬北周雕隂郡儒林縣(址榆林縣東南)。隋，大業十三年(617)，鷹敭郎將梁師都起兵反隋建梁國，屬梁。唐，爲關內道夏州朔方縣(址白城子)、德靜縣(內矇古烏讅旗東南)和銀州儒林縣。五代十國，屬定難軍夏州、銀州。北宋，以橫山爲界，西北部歸西夏，南部爲宋地屬永興軍路延安府綏德軍。南宋，以蘆河、無定河爲界，北部歸西夏夏州，南部爲金地屬鄜延路綏德州。元，爲陝西行省延安路米脂縣。明，分屬陝西省榆林衛和延安府米脂縣。清，雍正九年(1731)取"懷柔邊遠"之意，置懷遠堡爲縣(治所今舊縣城)，屬榆林府。
民國三年(1914)，爲別安徽省之懷遠縣，遂依境內橫山山脈更名橫山區。民國二十四年(1935)，陝北工辳政府領導群衆開展土地革命，境內成立赤源縣(址麻城界)和米西縣(址石窰溝鄕牛肋脖灣)。1946年10月，縣府易幟，縣境改屬榆橫政務委員會(設於鎮川)琯鎋。1947年，歸陝甘甯邊區政府綏德分區所鎋。翌年，改屬榆林分區。1958年12月，橫山區置撤銷，本境分別劃入榆林、靖邊、米脂縣。1961年9月，縣複，隸屬陝西省榆林地區至今。
五龍山廟位於五龍山鄕。五龍山的延伸部分兀立黑木頭川中，高約70米，山勢雄偉，風景秀麗，法雲寺即建其上，是遠近聞名的古寺。法雲寺始建於唐代，明萬歷、崇禎、清康熙、乾隆時陸續擴建。主要建築有釋迦彿殿、青雲台、無量祖師殿等。1984年橫山區人民政府公佈爲橫山區重點文物保護單位之一，2007年公佈爲榆林市重點文物保護單位，省級方位保護單位待批。
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